邁克爾遜干涉儀是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。 邁克爾遜干涉儀常見故障及檢修方法：
干涉環不圓正：
原 因：（1）分光板膜層面反向。
（2）兩組出射光瞳錯位。
（3）分光板、補償板、移動鏡及參考鏡有壓應力。
檢修方法：
分光板膜層應是入射光的第二面，如裝在DI一面，則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調整請參考故障6檢修方法。
讀數空位大于0.03mm
原 因：（1）傳動螺母和絲桿的配合間隙大。
（2）拖板體下面的頂塊間隙偏大。
（3）檔板與導軌配合過松。
檢修方法：
可先調整頂塊間隙，拖板體在工作狀態下旋松頂塊螺釘，左手大拇指將拖板體向讀數頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達到要求，調整檔板與導軌的間隙達0.02mm，再調節傳動螺母上的兩只螺釘。
轉動粗動手輪時拖板不走。
原 因：（1）儀器受強烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數頭嚙合 齒輪錯位。
（2）傳動小齒輪固緊螺母松動，造成傳動小齒輪與絲桿打滑。
（3）大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。
檢修方法：
首先檢查粗動手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數頭，一面慢慢轉動粗動手輪，后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動，先拆去傳動盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。
轉動微動手輪時拖板不走。
原 因：（1）傳動小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈HUANG片無壓緊力，造成蝸輪空轉。
（2）粗微動有脫開機構的干涉儀，蝸桿壓緊彈HUANG片失靈。
（3）微動手輪壓緊螺母松。
檢修方法：
先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋，取下門字架，旋緊傳動小齒輪壓緊螺母，使盆形彈HUANG片壓緊蝸輪，此時轉動蝸輪應帶動精密絲桿，依次裝好拆下的零件。
轉動粗動手輪時，等傾干涉環從中心向外漂移。
原 因：入射的光源不垂直于移動鏡。
檢修方法：
此種現象，并非儀器故障，主要是入射的光源不垂直于移動鏡，因多數易誤解為導軌直線性不好所致，故亦在此說明。首先調整干涉儀三只底腳調平螺釘，使儀器基本按放水平，然后調整光源，使擴束激光充滿固定鏡，將移動鏡調至零光程附近，轉動粗動手輪調等傾直條紋，說明擴束激光基本垂直于移動鏡，此時轉動粗動手輪出現的干涉圓環就不會漂移。
白光干涉條紋不對稱。
原 因：受運輸沖擊或使用過程中碰過分光板和補償板兩板平行度已被破壞。
檢修方法：
調整分光板與補償板的平行性，在沒有自準直儀時，可通過兩板同時觀察室內目標物。如日光燈，調節兩板上的寬頭螺釘，使雙象基本重合，這時調出的白光彩色條紋可達到基本對稱，如仍有不對稱現象，可調節補償板的三只寬頭螺釘達到*對稱。
波長測定值偏長。
原 因：（1）拖板體測面彈HUANG片壓力太緊。
（2）檔板與導軌配合過緊。
（3）導軌面潤滑油脂太厚。
（4）蝸輪稍有打滑。
（5）絲桿尾架壓緊力偏小。
檢修方法：
先檢查拖板體測面的彈HUANG片是否太緊，如太緊可將彈簧變形減少壓力的辦法解決。第二取下拖板體，檢查開合螺母上的檔板與導軌面的配合是否過緊，如過緊可調整檔板，旋松兩只螺釘，提高檔板與導軌接觸處墊入0.02mm 厚的錫片，放下檔板，固緊螺釘，拿掉錫片。第三導軌如加上厚的油脂，會使拖板增加阻尼或厚的油脂上帶有雜質，會使拖板不按導軌直線移動。應清洗后重新上油。第四檢查尾架內的彈簧，如壓緊力偏小，可把滾花螺套旋出，將彈簧拉長即可。
如遇蝸輪稍有打滑，檢修時必須小心拆裝，先拆下傳動盒蓋，拆下門字架，取下小鋼球，旋下小齒輪壓緊螺母，用夾具取下讀數盤，平面軸承，盆形彈HUANG片、蝸輪等。在汽油中清洗、烘干，重新涂硬性潤滑油脂，重新裝配時可在平面軸承與讀數盤之間加0.2mm的金屬墊片，手感磨擦力有所增加后，依次重新裝配，再進行測量檢查。
